电子产业的“粮食”和“血液”——高纯特种电子气体

特种气体主要包括 高纯气体、电子气体、标准气体三大类,电子特种气体(简称电子特气)是特种气体的一个重要分支,是超大规模集成电路(IC)、平面显示器件(LCD、LED、OLED)、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。

电子气体广泛用于集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆等电子产业的加工制造过程,被誉为电子产业的“粮食” 和“血液”。电子特种气体从生产到分离提纯以及运输供应阶段都存在较高的技术壁垒,市场准入条件高,全球市场主要被几家跨国巨头垄断。

电子气体是特种气体的一个重要分支,狭义的电子气体也统称为半导体工业用气体,广泛应用于成膜、蚀刻、掺杂、气相沉积、扩散等半导体工艺。按其纯度可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类,特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。按使用场合,可分为电子级,LSI(大规模集成电路)级,VLSI(超大规模集成电路 ) 级和 ULSI( 特大规模集成电路)级。

当前我国电子气体市场大部分由几大国际巨头所占据,高端气体更是几乎完全依赖进口,一方面价格昂贵,进口气价格一般会达到国产气的2-3倍甚至更高,某些核心尖端气体海外巨头对我国实施各种封锁限制,供应情况受国际关系影响,对我国国家安全及经济发展构成威胁。此外,很多电子气体本身属于危险化学品,进口手续繁琐、周期长,且某些电子气体性质不稳定自发分解,或强腐蚀长时间放置杂质含量提高,漂洋过海进口本身就存在诸多不便。综合来看,我国发展电子特气的自主生产,能够完善集成电路产业链,具有重大的现实意义和深远的战略意义。